摘要：本文围绕海翔科技供应的泛林半导体 Lam Research Versys Metal 系列二手刻蚀 / 蚀刻设备，剖析该系列针对金属材料刻蚀的核心技术优势，论证二手设备在成本与性能适配中的价值，详述海翔科技现场验机等配套服务，为半导体企业金属刻蚀工序设备采购提供参考。

一、引言

在半导体制造中，金属层刻蚀（如铝、铜、钨等金属布线刻蚀）直接影响芯片电流传输效率，对设备的刻蚀精度与金属残留控制要求极高。泛林半导体（Lam Research）的 Versys Metal 系列设备，作为专业金属刻蚀解决方案，凭借对金属材料的精准刻蚀能力，广泛应用于逻辑芯片、存储芯片的金属布线制程。海翔科技推出该系列二手设备及服务，为企业平衡金属刻蚀设备投入与产能需求提供高效方案。

二、Versys Metal 系列设备技术特性

Versys Metal 系列采用金属刻蚀专用等离子体源技术，通过调控射频功率与工艺气体配比（如 Cl2/BCl3/Ar 混合气体），可实现金属层与介质层的高选择比（最高达 1:80），有效避免刻蚀过程中金属残留导致的短路风险。设备搭载高精度终点检测系统，通过实时采集光学发射光谱（OES）中金属元素特征峰，精准判断刻蚀终点，将刻蚀深度偏差控制在 ±5nm 以内，适配 7nm-28nm 先进制程及成熟制程的金属布线刻蚀需求。此外，该系列设备采用防金属污染腔体设计，腔室内壁涂覆专用抗腐蚀涂层，减少金属离子吸附，设备维护周期延长至 45 天以上，降低腔体清洁成本。

三、二手刻蚀 / 蚀刻设备优势

3.1 成本与周期优势

Versys Metal 系列二手设备采购成本仅为全新设备的 35%-55%，交付周期缩短至 1.5 个月内（全新设备常规交付需 9-12 个月）。对于布局先进制程金属布线工序的企业，可大幅降低初始投资压力，快速响应高端芯片量产需求，产能落地周期较采购新机缩短 60%。

3.2 性能与适配优势

海翔科技对回收的 Versys Metal 设备实施 “金属刻蚀专项翻新”，重点更换老化的射频匹配器、金属专用工艺喷头及终点检测传感器，经校准后设备刻蚀精度可恢复至新机标准的 94% 以上。该系列设备兼容主流金属材料刻蚀工艺，自带原厂金属刻蚀参数模板（如铝布线刻蚀、铜大马士革结构刻蚀），企业接入现有产线时，工艺调试周期可控制在 5-7 天，大幅降低投产风险。

四、海翔科技服务保障

海翔科技为 Versys Metal 系列二手设备提供定制化服务支持。现场验机阶段，客户可通过专用检测平台，验证金属刻蚀选择比、终点检测准确性、腔体金属污染度等关键指标，并获取设备完整履历（含原厂金属刻蚀工艺调试记录、核心部件更换历史）。交易后提供 5 个月免费质保，技术团队可根据客户金属材料类型（如铝或铜），提供定制化工艺参数优化服务。针对 Versys Metal 系列专属部件，海翔科技建立专项备件库，金属刻蚀专用喷头、抗腐蚀密封圈等配件可实现 48 小时内极速发货，保障生产连续性。

五、应用场景与案例分析

某逻辑芯片企业引入海翔科技的 Versys Metal 二手设备后，用于 28nm 制程铝布线刻蚀工序，设备运行稳定性达 98% 以上，金属残留率从原设备的 0.8% 降至 0.1%，刻蚀良率提升 6 个百分点，采购成本较新机节省约 52%。某存储芯片企业通过采购 2 台 Versys Metal 二手设备，仅用 2 个月完成铜布线刻蚀生产线搭建，满足 3D NAND 芯片量产需求，投资回报周期缩短至 9 个月。

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